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반도체 박막 증착 실시간으로 분석.."공정 최적화·국산화 기대"

반도체 박막 증착 실시간으로 분석.."공정 최적화·국산화 기대" 최소망 기자 입력 2019.09.16. 생기연, '화학증착소재 실시간 증착막 측정 시스템' 개발 반도체 박막 증착 과정, 실시간으로 본다.© 뉴스1 (서울=뉴스1) 최소망 기자 = 반도체 공정 중 핵심 단계로 꼽히는 박막 증착 과정을 실시..

[국내/R&D]탄소나노튜브 이용해 리튬 금속배터리 안정성 높이는 기술 개발

리튬이차전지분리막 개발 울산과학기술원(UNIST) 이상영·곽상규 교수 연구팀이 탄소나노튜브를 이용해 ‘리튬 금속 배터리’의 안정성을 높이는 기술을 개발함. 연구팀은 탄소나노튜브 표면이 아닌 탄소나노튜브 내 각 다발이 이루는 내부 구조에 주목함. 튜브 속 다발의 밀도를 정밀하..